Framleiðsluaðferð málmkísildufts

Undirbúningsaðferðin fyrir málmkísilduft er tiltölulega einföld og auðveld og undirbúningsreglan er líka mjög einföld og auðskilin. Það er að dreifa ákveðnu magni af grófu kísildufti, senda það inn í plasmabogann með óvirku gasi og hita það samstundis, þannig að gróft kísilduftið mun við háan hita gufar það samstundis upp í kísilgufu. Kísilgufan fer síðan inn í kælisvæðið, þéttist og verður að nanómetra-stigi málmkísildufti.
Efnafræðileg gufuútfellingaraðferð: Undir verkun ytri orku eins og hita, örbylgjuofn, leysir, plasma o.s.frv., er sílan brotið niður í sílikon og vetni við miklar vetnisþynningaraðstæður og þéttist hratt í gasfasaumhverfi til að búa til nanó- kísilduft;
Kúlumölunaraðferð: Stóri núningskrafturinn sem myndast við vélrænan snúning og samspil agna er notaður til að mala stærri kísilefni í nanóstærð duft. Málmkísilduftið sem framleitt er með kúlumölunaraðferðinni hefur mikið óhreinindi, ekki er hægt að stjórna kornastærðardreifingu vel og eftirvinnslan er tiltölulega fyrirferðarmikil.